Распыление твердых тел под действием тяжелых ионов и температурные эффекты в электронной и решеточной подсистемах

Амирханов И. В., Дидык А. Ю., Хофман А., Пузынин И. В., Семина В. К., Шарипов З. А., Чеблуков Ю. Н.

В предлагаемом обзоре представлены результаты измерения коэффициентов распыления чистых металлов, сплавов, аморфных сплавов, полупроводников и высокоориентированного пиролитического графита при иx облучении тяжелыми ионами высоких энергий. Проведено обсуждение возможных механизмов сильного распыления материалов с высокой концентрацией дефектов. Введена трехмерная модель тепловой вспышки ("горячего трека иона") с температурной зависимостью термодинамических параметров (удельной теплоемкости и теплопроводности) для однослойных моно- и поликристаллов, а также для многослойных структур (материалов). Представлены результаты численного решения введенной системы дифференциальных уравнений в частных производных для температур электронной и решеточной подсистем вокруг и вдоль траектории быстрого тяжелого иона в зависимости от времени t и координат: радиальной r и продольной z, с учетом возможных фазовых переходов, таких как плавление и испарение. Приведено обсуждение полученных результатов.

PDF (1.28 Мб)